Mifumo ya baridi ya nitrojeni kioevu hutumiwa sana katika tasnia ya semiconductor & chip, pamoja na mchakato wa,
- Teknolojia ya epitaxy ya boriti ya Masi (MBE)
- Mtihani wa chip baada ya kifurushi cha COB
Bidhaa zinazohusiana
Mfululizo wa Bomba la Bomba la Vuta
Mfululizo wa Hose ya Vuta iliyoingizwa
Mfumo wa Bomba la nguvu la utupu
Mfululizo wa Sehemu ya Ugawanyaji wa Awamu ya Vuta
Mfululizo wa valve ya Vacuum
Vifaa vya usaidizi wa mfumo wa bomba
Epitaxy ya boriti ya Masi
Teknolojia ya epitaxy ya boriti ya Masi (MBE) ilitengenezwa mnamo miaka ya 1950 kuandaa vifaa vya filamu nyembamba vya semiconductor kwa kutumia teknolojia ya uvukizi wa utupu. Pamoja na maendeleo ya teknolojia ya utupu wa hali ya juu, utumiaji wa teknolojia umepanuliwa hadi uwanja wa sayansi ya semiconductor.
HL imegundua mahitaji ya mfumo wa baridi wa nitrojeni ya MBE, iliyoandaliwa kwa njia ya kiufundi ili kufanikiwa kufanikiwa mfumo maalum wa kuponya wa nitrojeni ya MBO na seti kamili ya mfumo wa bomba la maboksi, ambayo imekuwa ikitumika katika biashara nyingi, vyuo vikuu na taasisi za utafiti .
Shida za kawaida za semiconductor & tasnia ya chip ni pamoja na,
- Shinikizo la nitrojeni kioevu ndani ya vifaa vya terminal (MBE). Zuia shinikizo kubwa kutoka kwa kuharibu vifaa vya terminal (MBE).
- Vipimo vingi vya kioevu cha cryogenic na udhibiti wa duka
- Joto la nitrojeni kioevu ndani ya vifaa vya terminal
- Kiasi kinachofaa cha uzalishaji wa gesi ya cryogenic
- (Moja kwa moja) Kubadilisha kwa mistari kuu na ya tawi
- Marekebisho ya shinikizo (kupunguza) na utulivu wa VIP
- Kusafisha uchafu unaowezekana na mabaki ya barafu kutoka kwa tank
- Kujaza wakati wa vifaa vya kioevu cha terminal
- Precooling ya bomba
- Upinzani wa kioevu katika mfumo wa VIP
- Kudhibiti upotezaji wa nitrojeni ya kioevu wakati wa huduma ya kutofautisha ya mfumo
Bomba la maboksi ya HL's Vacuum (VIP) imejengwa kwa ASME B31.3 msimbo wa bomba la shinikizo kama kiwango. Uzoefu wa uhandisi na uwezo wa kudhibiti ubora ili kuhakikisha ufanisi na ufanisi wa mmea wa mteja.
Suluhisho
Vifaa vya Cryogenic vya HL vinapeana wateja na mfumo wa bomba la maboksi ya utupu kukidhi mahitaji na hali ya tasnia ya semiconductor & chip:
Mfumo wa usimamizi wa usawa: ASME B31.3 Msimbo wa bomba la shinikizo.
Mgawanyiko maalum wa awamu na kuingiza kioevu cha cryogenic na njia ya kudhibiti moja kwa moja inakidhi mahitaji ya uzalishaji wa gesi, nitrojeni ya kioevu iliyosafishwa na joto la nitrojeni kioevu.
3. Ubunifu wa kutosha na kwa wakati unaofaa huhakikisha kuwa vifaa vya terminal hufanya kazi kila wakati ndani ya thamani ya shinikizo iliyoundwa.
4. Kizuizi cha kioevu cha gesi kimewekwa kwenye bomba la VI wima mwishoni mwa bomba la VI. Kizuizi-kioevu cha gesi hutumia kanuni ya muhuri ya gesi kuzuia joto kutoka mwisho wa bomba la VI ndani ya bomba la VI, na kwa ufanisi kupunguza upotezaji wa nitrojeni kioevu wakati wa huduma ya kutofautisha na ya muda mfupi ya mfumo.
5.VI Bomba inayodhibitiwa na safu ya Valve ya Vacuum iliyowekwa ndani (VIV): pamoja na utupu wa maboksi (nyumatiki), valve ya ukaguzi wa Vacuum, utupu wa kudhibiti valve nk Aina anuwai za VIV zinaweza kuwa pamoja kudhibiti VIP kama inahitajika. VIV imeunganishwa na uboreshaji wa VIP katika mtengenezaji, bila matibabu ya maboksi kwenye tovuti. Sehemu ya muhuri ya VIV inaweza kubadilishwa kwa urahisi. .
6.Leannity, ikiwa kuna mahitaji ya ziada ya usafi wa uso wa ndani. Inapendekezwa kuwa wateja huchagua bomba la chuma la BA au EP kama bomba la ndani la VIP ili kupunguza zaidi kumwagika kwa chuma.
7.Vacuum vichungi vilivyowekwa: Safisha uchafu unaowezekana na mabaki ya barafu kutoka kwa tank.
8.Baada ya siku chache au kuzima au kutunza tena, ni muhimu sana kuharakisha bomba la VI na vifaa vya terminal kabla ya kioevu cha cryogenic kuingizwa, ili kuepusha slag ya barafu baada ya kioevu cha cryogenic kuingia moja kwa moja kwenye bomba la VI na vifaa vya terminal. Kazi ya precooling inapaswa kuzingatiwa katika muundo. Inatoa kinga bora kwa vifaa vya terminal na vifaa vya msaada wa bomba la VI kama vile valves.
9.
10.Dynamic utupu wa maboksi (kubadilika) mfumo wa bomba: inajumuisha hoses rahisi za VI na/au vi, hoses za jumper, mfumo wa valve ya valve, sehemu za kutenganisha na mfumo wa nguvu wa pampu ya utupu (pamoja na pampu za utupu, valves za solenoid na chati za utupu nk. ). Urefu wa hose moja ya VI inaweza kubadilishwa kulingana na mahitaji ya mtumiaji.
11. Aina za unganisho: Aina ya Uunganisho wa Bayonet (VBC) na unganisho la svetsade linaweza kuchaguliwa. Aina ya VBC haitaji matibabu ya maboksi kwenye tovuti.
