Kifupi cha Epitaksi ya Mionzi ya Masi (MBE)
Teknolojia ya Molecular Beam Epitaxy (MBE) ilitengenezwa katika miaka ya 1950 ili kuandaa vifaa vya filamu nyembamba vya nusu-semiconductor kwa kutumia teknolojia ya uvukizi wa utupu. Pamoja na maendeleo ya teknolojia ya utupu yenye kiwango cha juu cha juu, matumizi ya teknolojia yamepanuliwa hadi kwenye uwanja wa sayansi ya nusu-semiconductor.
Motisha ya utafiti wa vifaa vya nusu-semiconductor ni hitaji la vifaa vipya, ambavyo vinaweza kuboresha utendaji wa mfumo. Kwa upande mwingine, teknolojia mpya ya nyenzo inaweza kutoa vifaa vipya na teknolojia mpya. Epitaksia ya boriti ya molekuli (MBE) ni teknolojia ya utupu wa hali ya juu kwa ukuaji wa safu ya epitaxial (kawaida nusu-semiconductor). Inatumia boriti ya joto ya atomi chanzo au molekuli zinazoathiri substrate moja ya fuwele. Sifa za utupu wa hali ya juu sana za mchakato huruhusu metali ndani na ukuaji wa nyenzo za kuhami joto kwenye nyuso mpya za nusu-semiconductor zilizopandwa, na kusababisha violesura visivyo na uchafuzi.
Teknolojia ya MBE
Epitaksi ya boriti ya molekuli ilifanywa katika utupu wa juu au utupu wa juu sana (1 x 10).-8Mazingira ya Pa). Kipengele muhimu zaidi cha epitaksi ya boriti ya molekuli ni kiwango chake cha chini cha uwekaji, ambacho kwa kawaida huruhusu filamu kukua kwa kiwango cha chini ya nm 3000 kwa saa. Kiwango cha chini cha uwekaji kinahitaji utupu wa kutosha kufikia kiwango sawa cha usafi kama njia zingine za uwekaji.
Ili kukidhi ombwe la juu sana lililoelezwa hapo juu, kifaa cha MBE (Knudsen cell) kina safu ya kupoeza, na mazingira ya ombwe la juu sana la chumba cha ukuaji lazima yatunzwe kwa kutumia mfumo wa mzunguko wa nitrojeni kioevu. Nitrojeni kioevu hupoeza halijoto ya ndani ya kifaa hadi 77 Kelvin (−196 °C). Mazingira ya halijoto ya chini yanaweza kupunguza zaidi kiwango cha uchafu kwenye ombwe na kutoa hali bora zaidi ya uwekaji wa filamu nyembamba. Kwa hivyo, mfumo maalum wa mzunguko wa kupoeza nitrojeni kioevu unahitajika kwa vifaa vya MBE ili kutoa usambazaji endelevu na thabiti wa nitrojeni kioevu ya -196 °C.
Mfumo wa Mzunguko wa Nitrojeni ya Kioevu
Mfumo wa mzunguko wa kupoeza nitrojeni kioevu kwa utupu unajumuisha hasa,
● tanki la cryogenic
● Bomba kuu na tawi lenye koti la utupu / bomba lenye koti la utupu
● Kitenganishi maalum cha awamu ya MBE na bomba la kutolea moshi lenye koti la utupu
● vali mbalimbali zenye koti la utupu
● kizuizi cha gesi-kioevu
● kichujio chenye koti la utupu
● mfumo wa pampu ya utupu yenye nguvu
● Kupoza na kusafisha mfumo wa kupasha joto upya
Kampuni ya Vifaa vya HL Cryogenic imegundua mahitaji ya mfumo wa kupoeza wa nitrojeni kioevu wa MBE, imepanga uti wa mgongo wa kiufundi ili kufanikiwa kutengeneza mfumo maalum wa kupoeza nitrojeni kioevu wa MBE kwa teknolojia ya MBE na seti kamili ya insulation ya utupu.edmfumo wa mabomba, ambao umetumika katika biashara nyingi, vyuo vikuu na taasisi za utafiti.
Vifaa vya HL Cryogenic
HL Cryogenic Equipment ambayo ilianzishwa mwaka wa 1992 ni chapa inayohusishwa na Kampuni ya Vifaa vya Chengdu Holy Cryogenic nchini China. HL Cryogenic Equipment imejitolea katika kubuni na kutengeneza Mfumo wa Mabomba ya Cryogenic yenye Insulation ya Juu ya Vuta na Vifaa vya Usaidizi vinavyohusiana.
Kwa maelezo zaidi, tafadhali tembelea tovuti rasmiwww.hlcryo.comau barua pepe kwainfo@cdholy.com.
Muda wa chapisho: Mei-06-2021
