Mradi wa Chip MBE Ulikamilika Katika Miaka Iliyopita

Teknolojia

Epitaksia ya boriti ya molekuli, au MBE, ni mbinu mpya ya kukuza filamu nyembamba za ubora wa juu za fuwele kwenye substrates za fuwele. Katika hali ya utupu wa juu sana, jiko la kupasha joto lina vifaa vya kila aina ya vipengele vinavyohitajika na hutoa mvuke, kupitia mashimo yaliyoundwa baada ya kupokezana boriti ya atomiki au molekuli, sindano ya moja kwa moja kwenye halijoto inayofaa ya substrate moja ya fuwele, kudhibiti boriti ya molekuli kwenye substrate skanning kwa wakati mmoja, inaweza kufanya molekuli au atomi katika tabaka za upangiliaji wa fuwele kuunda filamu nyembamba kwenye "ukuaji" wa substrate.

Kwa uendeshaji wa kawaida wa vifaa vya MBE, usafi wa juu, shinikizo la chini na nitrojeni kioevu safi sana inahitajika kusafirishwa mfululizo na kwa utulivu hadi kwenye chumba cha kupoeza cha vifaa. Kwa ujumla, tanki linalotoa nitrojeni kioevu lina shinikizo la kutoa kati ya 0.3MPa na 0.8MPa. Nitrojeni kioevu kwa -196℃ huvukizwa kwa urahisi kuwa nitrojeni wakati wa usafirishaji wa bomba. Mara tu nitrojeni kioevu yenye uwiano wa gesi-kioevu wa takriban 1:700 inapowekwa gesi kwenye bomba, itachukua kiasi kikubwa cha nafasi ya mtiririko wa nitrojeni kioevu na kupunguza mtiririko wa kawaida mwishoni mwa bomba la nitrojeni kioevu. Kwa kuongezea, katika tanki la kuhifadhi nitrojeni kioevu, kuna uwezekano wa kuwa na uchafu ambao haujasafishwa. Katika bomba la nitrojeni kioevu, uwepo wa hewa yenye unyevunyevu pia utasababisha uzalishaji wa slag ya barafu. Ikiwa uchafu huu utatolewa kwenye vifaa, utasababisha uharibifu usiotabirika kwa vifaa.

Kwa hivyo, nitrojeni kioevu katika tanki la kuhifadhia nje husafirishwa hadi kwenye vifaa vya MBE katika karakana isiyo na vumbi kwa ufanisi wa hali ya juu, uthabiti na usafi, na shinikizo la chini, hakuna nitrojeni, hakuna uchafu, masaa 24 bila kukatizwa, mfumo kama huo wa udhibiti wa usafirishaji ni bidhaa inayostahiki.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Vifaa vya MBE vinavyolingana

Tangu mwaka 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) imekuwa ikiboresha na kuboresha mfumo huu na kushirikiana na watengenezaji wa vifaa vya kimataifa vya MBE. Watengenezaji wa vifaa vya MBE, ikiwa ni pamoja na DCA, REBER, wana uhusiano wa ushirikiano na kampuni yetu. Watengenezaji wa vifaa vya MBE, ikiwa ni pamoja na DCA na REBER, wameshirikiana katika idadi kubwa ya miradi.

Riber SA ni mtoa huduma anayeongoza duniani wa bidhaa za epitaksi ya molekuli (MBE) na huduma zinazohusiana kwa ajili ya utafiti wa semiconductor ya kiwanja na matumizi ya viwanda. Kifaa cha Riber MBE kinaweza kuweka tabaka nyembamba sana za nyenzo kwenye substrate, kikiwa na vidhibiti vya juu sana. Vifaa vya utupu vya HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vina vifaa vya Riber SA. Kifaa kikubwa zaidi ni Riber 6000 na kidogo zaidi ni Compact 21. Kiko katika hali nzuri na kimetambuliwa na wateja.

DCA ndiyo MBE inayoongoza duniani kwa oksidi. Tangu 1993, maendeleo ya kimfumo ya mbinu za oksidi, kupokanzwa kwa substrate ya antioxidant na vyanzo vya antioxidant yamefanywa. Kwa sababu hii, maabara nyingi zinazoongoza zimechagua teknolojia ya oksidi ya DCA. Mifumo ya MBE ya semiconductor yenye mchanganyiko hutumika kote ulimwenguni. Mfumo wa mzunguko wa nitrojeni kioevu wa VJ wa Vifaa vya HL Cryogenic (HL CRYO) na vifaa vya MBE vya modeli nyingi za DCA vina uzoefu unaolingana katika miradi mingi, kama vile modeli ya P600, R450, SGC800 n.k.

tcm (2)

Jedwali la Utendaji

Taasisi ya Fizikia ya Ufundi ya Shanghai, Chuo cha Sayansi cha China
Taasisi ya 11 ya Shirika la Teknolojia ya Elektroniki la China
Taasisi ya Semiconductors, Chuo cha Sayansi cha China
Huawei
Chuo cha Alibaba DAMO
Teknolojia ya Powertech Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Muda wa chapisho: Mei-26-2021