Mradi wa Chip MBE ulikamilika katika miaka iliyopita

Teknolojia

Epitaxy ya boriti ya Masi, au MBE, ni mbinu mpya ya kukuza filamu nyembamba za juu za fuwele kwenye sehemu ndogo za kioo. Katika hali ya utupu wa hali ya juu, na jiko la kupokanzwa lina vifaa vya kila aina ya vifaa vinavyohitajika na hutoa mvuke, kupitia mashimo yaliyoundwa baada ya kuzungusha boriti ya boriti au boriti ya Masi, sindano ya moja kwa moja kwa joto linalofaa la sehemu moja ya glasi, kudhibiti atomiki ya atomig kwenye skanning ya wakati huo huo. substrate "ukuaji".

Kwa operesheni ya kawaida ya vifaa vya MBE, usafi wa hali ya juu, shinikizo la chini na nitrojeni ya kioevu safi inahitajika kuendelea na kusafirishwa kwa urahisi kwenye chumba cha baridi cha vifaa. Kwa ujumla, tank ambayo hutoa nitrojeni ya kioevu ina shinikizo la pato kati ya 0.3mpa na 0.8mpa.liquid nitrojeni saa -196 ℃ hutolewa kwa urahisi ndani ya nitrojeni wakati wa usafirishaji wa bomba. Mara tu nitrojeni ya kioevu iliyo na uwiano wa kioevu cha gesi ya karibu 1: 700 ikiwa imewekwa kwenye bomba, itachukua nafasi kubwa ya mtiririko wa nitrojeni na kupunguza mtiririko wa kawaida mwishoni mwa bomba la nitrojeni kioevu. Kwa kuongezea, katika tank ya kuhifadhi nitrojeni kioevu, kuna uwezekano wa kuwa uchafu ambao haujasafishwa. Katika bomba la nitrojeni kioevu, uwepo wa hewa ya mvua pia utasababisha kizazi cha barafu ya barafu. Ikiwa uchafu huu umetolewa kwenye vifaa, itasababisha uharibifu usiotabirika kwa vifaa.

Kwa hivyo, nitrojeni ya kioevu kwenye tank ya kuhifadhi nje husafirishwa kwa vifaa vya MBE katika semina isiyo na vumbi na ufanisi mkubwa, utulivu na safi, na shinikizo la chini, hakuna nitrojeni, hakuna uchafu, masaa 24 yasiyoweza kuingiliwa, mfumo kama huo wa kudhibiti usafirishaji ni bidhaa inayostahili.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Kulinganisha vifaa vya MBE

Tangu 2005, vifaa vya HL cryogenic (HL Cryo) imekuwa ikiboresha na kuboresha mfumo huu na kushirikiana na watengenezaji wa vifaa vya kimataifa vya MBE. Watengenezaji wa vifaa vya MBE, pamoja na DCA, Reber, wana uhusiano wa kushirikiana na kampuni yetu. Watengenezaji wa vifaa vya MBE, pamoja na DCA na Reber, wameshirikiana katika idadi kubwa ya miradi.

Riber SA ni mtoaji anayeongoza ulimwenguni wa bidhaa za boriti ya Masi (MBE) na huduma zinazohusiana kwa utafiti wa semiconductor na matumizi ya viwandani. Kifaa cha Riber MBE kinaweza kuweka tabaka nyembamba sana za nyenzo kwenye substrate, na udhibiti mkubwa sana. Vifaa vya utupu wa vifaa vya HL cryogenic (HL cryo) imewekwa na Riber SA vifaa vikubwa ni Riber 6000 na ndogo ni ngumu 21. Iko katika hali nzuri na imetambuliwa na wateja.

DCA ndio oksidi inayoongoza ulimwenguni. Tangu 1993, maendeleo ya kimfumo ya mbinu za oxidation, inapokanzwa antioxidant na vyanzo vya antioxidant vimefanywa. Kwa sababu hii, maabara nyingi zinazoongoza zimechagua teknolojia ya oksidi ya DCA. Mifumo ya Semiconductor MBE ya mchanganyiko hutumiwa ulimwenguni kote. Mfumo wa mzunguko wa nitrojeni ya VJ kioevu ya vifaa vya HL cryogenic (HL cryo) na vifaa vya MBE vya mifano mingi ya DCA vina uzoefu wa kulinganisha katika miradi mingi, kama vile Model P600, R450, SGC800 nk.

TCM (2)

Jedwali la utendaji

Taasisi ya Shanghai ya Fizikia ya Ufundi, Chuo cha Sayansi cha China
Taasisi ya 11 ya Shirika la Teknolojia ya Elektroniki ya China
Taasisi ya Semiconductors, Chuo cha Sayansi cha China
Huawei
Alibaba Damo Academy
Teknolojia ya Powertech Inc.
Delta Electronics Inc.
Picha za Suzhou Everbright

Wakati wa chapisho: Mei-26-2021

Acha ujumbe wako