Mradi wa Chip MBE Ulikamilishwa Katika Miaka Iliyopita

Teknolojia

Molecular boriti epitaxy, au MBE, ni mbinu mpya ya kukuza filamu nyembamba za ubora wa juu za fuwele kwenye substrates za fuwele.Katika hali ya utupu wa hali ya juu sana, na jiko la kupokanzwa huwa na kila aina ya vipengele vinavyohitajika na huzalisha mvuke, kupitia mashimo yaliyoundwa baada ya boriti ya kugongana ya atomiki au ya molekuli, sindano ya moja kwa moja kwa joto linalofaa la substrate moja ya kioo, kudhibiti boriti ya molekuli. skanning substrate wakati huo huo, inaweza kufanya molekuli au atomi katika tabaka alignment kioo kuunda filamu nyembamba juu ya substrate "ukuaji".

Kwa uendeshaji wa kawaida wa vifaa vya MBE, usafi wa juu, shinikizo la chini na nitrojeni ya kioevu ya ultra-safi inahitajika kuendelea na kusafirishwa kwa utulivu kwenye chumba cha baridi cha vifaa.Kwa ujumla, tanki inayotoa nitrojeni kioevu ina shinikizo la kutoa kati ya 0.3MPa na 0.8MPa.Nitrojeni kioevu saa -196℃ huvukizwa kwa urahisi kuwa nitrojeni wakati wa usafirishaji wa bomba.Mara tu nitrojeni ya kioevu yenye uwiano wa gesi-kioevu wa takriban 1:700 inapowekwa gesi kwenye bomba, itachukua nafasi kubwa ya mtiririko wa nitrojeni kioevu na kupunguza mtiririko wa kawaida mwishoni mwa bomba la nitrojeni ya kioevu.Kwa kuongeza, katika tank ya kuhifadhi nitrojeni ya kioevu, kuna uwezekano wa kuwa na uchafu ambao haujasafishwa.Katika bomba la nitrojeni ya kioevu, kuwepo kwa hewa ya mvua pia itasababisha kizazi cha slag ya barafu.Ikiwa uchafuzi huu hutolewa kwenye vifaa, itasababisha uharibifu usio na kutabiri kwa vifaa.

Kwa hiyo, nitrojeni kioevu katika tank ya kuhifadhi nje husafirishwa kwa vifaa vya MBE katika semina isiyo na vumbi na ufanisi wa juu, utulivu na safi, na shinikizo la chini, hakuna nitrojeni, hakuna uchafu, masaa 24 bila kuingiliwa, mfumo huo wa udhibiti wa usafiri ni. bidhaa iliyohitimu.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Inalingana na vifaa vya MBE

Tangu 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) imekuwa ikiboresha na kuboresha mfumo huu na kushirikiana na watengenezaji wa vifaa vya kimataifa vya MBE.Watengenezaji wa vifaa vya MBE, pamoja na DCA, REBER, wana uhusiano wa ushirika na kampuni yetu.Watengenezaji wa vifaa vya MBE, pamoja na DCA na REBER, wameshirikiana katika idadi kubwa ya miradi.

Riber SA ni mtoa huduma mkuu wa kimataifa wa bidhaa za molekyuli ya epitaxy (MBE) na huduma zinazohusiana na utafiti wa semiconductor na matumizi ya viwandani.Kifaa cha Riber MBE kinaweza kuweka tabaka nyembamba sana za nyenzo kwenye substrate, na vidhibiti vya juu sana.Vifaa vya utupu vya HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vina vifaa vya Riber SA Kifaa kikubwa zaidi ni Riber 6000 na kidogo zaidi ni Compact 21. Kiko katika hali nzuri na kimetambuliwa na wateja.

DCA ndiyo MBE ya oksidi inayoongoza duniani.Tangu 1993, maendeleo ya utaratibu wa mbinu za oxidation, inapokanzwa substrate ya antioxidant na vyanzo vya antioxidant imefanywa.Kwa sababu hii, maabara nyingi zinazoongoza zimechagua teknolojia ya oksidi ya DCA.Mifumo ya Composite semiconductor MBE inatumika duniani kote.Mfumo wa mzunguko wa nitrojeni kioevu wa VJ wa HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) na vifaa vya MBE vya miundo mingi ya DCA vina uzoefu unaolingana katika miradi mingi, kama vile modeli P600, R450, SGC800 n.k.

tcm (2)

Jedwali la Utendaji

Taasisi ya Shanghai ya Fizikia ya Ufundi, Chuo cha Sayansi cha China
Taasisi ya 11 ya Shirika la Teknolojia ya Kielektroniki la China
Taasisi ya Semiconductors, Chuo cha Sayansi cha China
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Kampuni ya Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Picha za Suzhou Everbright

Muda wa kutuma: Mei-26-2021